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大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究 期刊论文
应用光学, 2013, 卷号: 34, 期号: 5, 页码: 854-860
作者:  汪建君;  袁吕军;  武中华;  周馨
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光学工艺  大口径碳化硅反射镜  Pvd改性  抛光