| 大口径碳化硅反射镜面ＰＶＤ改性工艺的研究 | |
汪建君 ; 袁吕军; 武中华; 周馨
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| 2013-09 | |
| 发表期刊 | 应用光学
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| 卷号 | 34期号:5页码:854-860 |
| 摘要 |
通过将多块不同尺寸的碳化硅平面试片以及一块口径为５２０ｍｍ碳化硅凹非球面反射镜作为镜面改性工艺技术的实验平台，对大口径碳化硅反射镜面ＰＶＤ改性工艺技术进行探索、分析和研究。重点研究了前期ＰＶＤ改性前镜面特性与ＰＶＤ改性层的最佳匹配关系，主要是ＰＶＤ改性层与镜面粗糙度和残留面形误差的要求和最佳结合点。采用的抛光方式为磨盘相对镜体做行星运动，采用相同的离子束辅助沉积法进行凹椭球面碳化硅反射镜的镜面改性。实验结果表明：通过选用合适的方案对改性后的ＰＶＤ改性层镜面的面形误差进行修抛，可同时提高其镜面光洁度和粗糙度，最终测试结果为０．７５６ｎｍ（Ｓｑ），与改性前比较，粗糙度得到一定程度的提高。 |
| 关键词 | 光学工艺 大口径碳化硅反射镜 Ｐｖｄ改性 抛光 |
| 学科领域 | 天文镜面（材料、加工、检测） |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/721 |
| 专题 | 期刊论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪建君,袁吕军,武中华,等. 大口径碳化硅反射镜面ＰＶＤ改性工艺的研究[J]. 应用光学,2013,34(5):854-860. |
| APA | 汪建君,袁吕军,武中华,&周馨.(2013).大口径碳化硅反射镜面ＰＶＤ改性工艺的研究.应用光学,34(5),854-860. |
| MLA | 汪建君,et al."大口径碳化硅反射镜面ＰＶＤ改性工艺的研究".应用光学 34.5(2013):854-860. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究（1023KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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