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大口径光学平面瑞奇-康芒检测技术的研究 期刊论文
光学技术, 2007, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 737-742
作者:  袁吕军;  邢娜
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瑞奇-康芒检测  面形误差  光学检测