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大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究
汪建君; 袁吕军; 武中华; 周馨
2013-09
Source Publication应用光学
Volume34Issue:5Pages:854-860
Abstract
通过将多块不同尺寸的碳化硅平面试片以及一块口径为520mm碳化硅凹非球面反射镜作为镜面改性工艺技术的实验平台,对大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺技术进行探索、分析和研究。重点研究了前期PVD改性前镜面特性与PVD改性层的最佳匹配关系,主要是PVD改性层与镜面粗糙度和残留面形误差的要求和最佳结合点。采用的抛光方式为磨盘相对镜体做行星运动,采用相同的离子束辅助沉积法进行凹椭球面碳化硅反射镜的镜面改性。实验结果表明:通过选用合适的方案对改性后的PVD改性层镜面的面形误差进行修抛,可同时提高其镜面光洁度和粗糙度,最终测试结果为0.756nm(Sq),与改性前比较,粗糙度得到一定程度的提高。
Keyword光学工艺 大口径碳化硅反射镜 Pvd改性 抛光
Subject Area天文镜面(材料、加工、检测)
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/721
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
镜面技术实验室_期刊论文
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GB/T 7714
汪建君,袁吕军,武中华,等. 大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究[J]. 应用光学,2013,34(5):854-860.
APA 汪建君,袁吕军,武中华,&周馨.(2013).大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究.应用光学,34(5),854-860.
MLA 汪建君,et al."大口径碳化硅反射镜面PVD改性工艺的研究".应用光学 34.5(2013):854-860.
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