NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 期刊论文
离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法
郭伟远; 成贤锴; 白华
2011-10
Source Publication天文研究与技术
Volume8Issue:4Pages:374-340
Abstract
在离子束抛光工艺中,驻留时间的求解是很关键的。求解驻留时间是利用离子束加工函数和驻留时间的卷积等于镜面去除量的关系,而离子束抛光的过程就是一个执行解卷积的过程。受此启发,采用一种分步消去算法解矩阵的卷积运算。这种新算法占用计算机资源少,运算速度快,同时可以根据预先设定的加工精度算得满足要求的驻留时间函数。对这种新算法进行仿真分析,采用3 种不同的消去顺序分步加工,得到了理想的仿真结果,PV值由抛光前的363.721nm 分别减小到6.136nm、33. 347nm、3.875nm,抛光后的镜面精度提高了很多。
Keyword离子束抛光 驻留时间 矩阵运算 计算机控制光学表面成形
Subject Area天文镜面(材料、加工、检测)
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/526
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
大口径光学技术研究室_期刊论文
Recommended Citation
GB/T 7714
郭伟远,成贤锴,白华. 离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法[J]. 天文研究与技术,2011,8(4):374-340.
APA 郭伟远,成贤锴,&白华.(2011).离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法.天文研究与技术,8(4),374-340.
MLA 郭伟远,et al."离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法".天文研究与技术 8.4(2011):374-340.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法.(532KB) 开放获取CC BY-NC-NDView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[白华]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[白华]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[白华]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 离子束抛光工艺中驻留时间的分步消去算法.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.