应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正

NIAOT OpenIR > 期刊论文

	应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正
	杨德华; 戚永军
	2006-04
发表期刊	光学精密工程
卷号	14 期号:2 页码:155-158
摘要	分析了子镜运动和电容传感器极板运动之间的理论关系并探讨了电容位移传感器读数的“结构性”误差的处理方法。基于电容位移传感器的工作原理,对极板为圆形的电容位移传感器提出了采用以位移的测量值和子镜转角为自变量的多项式拟合的校正方法。计算表明该误差处理和校正方法是简洁可行的。对于转角的拟合只需2 阶,同时位移测量值只需4 阶的多项式进行拟合即可使输出位移达到3nm 的精度。进一步分析表明,直接使用位移传感器读数计算极板转角,并对误差的主动校正控制非常有利于该多项式拟合,可一次性达到优于5 nm 的校正误差,完全满足拼接镜面主动光学工程应用的技术要求。
关键词	拼接镜面电容位移传感器误差分析误差校正数字拟合
学科领域	天文技术与方法
文献类型	期刊论文
条目标识符	http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/430
专题	期刊论文
推荐引用方式 GB/T 7714	杨德华,戚永军. 应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正[J]. 光学精密工程,2006,14(2):155-158.
APA	杨德华,&戚永军.(2006).应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正.光学精密工程,14(2),155-158.
MLA	杨德华,et al."应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正".光学精密工程 14.2(2006):155-158.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性（336KB）			开放获取	CC BY-NC-ND	浏览下载