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应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正
杨德华; 戚永军
2006-04
Source Publication光学精密工程
Volume14Issue:2Pages:155-158
Abstract
分析了子镜运动和电容传感器极板运动之间的理论关系并探讨了电容位移传感器读数的“结构性”误差的处理方法。基于电容位移传感器的工作原理,对极板为圆形的电容位移传感器提出了采用以位移的测量值和子镜转角为自变量的多项式拟合的校正方法。计算表明该误差处理和校正方法是简洁可行的。对于转角的拟合只需2 阶,同时位移测量值只需4 阶的多项式进行拟合即可使输出位移达到3nm 的精度。进一步分析表明,直接使用位移传感器读数计算极板转角,并对误差的主动校正控制非常有利于该多项式拟合,可一次性达到优于5 nm 的校正误差,完全满足拼接镜面主 动光学工程应用的技术要求。
Keyword拼接镜面 电容位移传感器 误差分析 误差校正 数字拟合
Subject Area天文技术与方法
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/430
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
望远镜新技术研究室_期刊论文
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GB/T 7714
杨德华,戚永军. 应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正[J]. 光学精密工程,2006,14(2):155-158.
APA 杨德华,&戚永军.(2006).应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正.光学精密工程,14(2),155-158.
MLA 杨德华,et al."应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正".光学精密工程 14.2(2006):155-158.
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