大口径光学平面的子孔径拼接检验研究 | |
李新南![]() ![]() | |
2006-07 | |
Source Publication | 光学技术
![]() |
Volume | 32Issue:4Pages:514-517 |
Abstract |
研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进 行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原 理性实验。采用一台口径为100mm 的移相干涉仪检测了两个样品,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm 和91mm。对比检测结果表明,拼接检测与直接检测两种方法的RMS 之差小于5nm。 |
Keyword | 大口径光学平面 子孔径拼接 光学检测 |
Subject Area | 天文镜面(材料、加工、检测) |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/422 |
Collection | 期刊论文 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李新南,张明意. 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究[J]. 光学技术,2006,32(4):514-517. |
APA | 李新南,&张明意.(2006).大口径光学平面的子孔径拼接检验研究.光学技术,32(4),514-517. |
MLA | 李新南,et al."大口径光学平面的子孔径拼接检验研究".光学技术 32.4(2006):514-517. |
Files in This Item: | Download All | |||||
File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
大口径光学平面的子孔径拼接检验研究.pd(354KB) | 开放获取 | CC BY-NC-ND | View Download |
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment