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大口径光学平面的子孔径拼接检验研究
李新南; 张明意
2006-07
Source Publication光学技术
Volume32Issue:4Pages:514-517
Abstract
研究了检测大口径光学平面的子孔径拼接法。通过采用最小二乘法对相邻两个子孔径重叠区域的数据进 行分析,获得了子孔径之间的拼接参量,得到了被检验镜面的整体面形信息。编制了拼接检验的计算程序,并完成了原 理性实验。采用一台口径为100mm 的移相干涉仪检测了两个样品,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果。样品的口径分别为100mm 和91mm。对比检测结果表明,拼接检测与直接检测两种方法的RMS 之差小于5nm。
Keyword大口径光学平面 子孔径拼接 光学检测
Subject Area天文镜面(材料、加工、检测)
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/422
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
大口径光学技术研究室_期刊论文
Recommended Citation
GB/T 7714
李新南,张明意. 大口径光学平面的子孔径拼接检验研究[J]. 光学技术,2006,32(4):514-517.
APA 李新南,&张明意.(2006).大口径光学平面的子孔径拼接检验研究.光学技术,32(4),514-517.
MLA 李新南,et al."大口径光学平面的子孔径拼接检验研究".光学技术 32.4(2006):514-517.
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