| 一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测系统及方法 | |
韩建 ; 王瑞; 肖东; 叶慧琪; 翟洋; 唐靓
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| 2024-03-26 | |
| Rights Holder | 南京天文光学技术研究所 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明专利 |
| Abstract | 本发明公开了一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测系统及方法。本发明采用双级次同步调节方法,首先利用光栅衍射0级,对纵向位移Δz进行调节,通过色散干涉条纹与双波长干涉测量技术结合,通过先粗调后细调方案,从而消除拼接光栅纵向位移误差Δz的误差周期性；通过光栅衍射m级次中采用干涉条纹测量技术,完成横向位移Δx的精确调整。通过上述过程,有效解决了拼接光栅中位移误差耦合性和周期性问题,实现了在阶梯光栅拼接过程中大量程和高精度的检测特点,通过偏振元件,实现了光束能量的有效利用。 |
| Subject Area | 天文技术与方法 |
| Patent Number | ZL202210481209.9 |
| Language | 中文 |
| Status | 已授权 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/2200 |
| Collection | 中国科学院南京天文光学技术研究所知识成果 专利 |
| Affiliation | 南京天文光学技术研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 韩建,王瑞,肖东,等. 一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测系统及方法. ZL202210481209.9[P]. 2024-03-26. |
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| 一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测（30651KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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