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阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 18, 页码: 119-127
Authors:  王瑞;  韩建;  肖东;  叶慧琪;  唐靓;  郝俊;  翟洋;  郝志博
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测量  拼接光栅  共相调整  纵向位移误差  调整精度  
阶梯光栅共相拼接中周期性位移误差的高精度检测 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2022
Authors:  王瑞
Favorite  |  View/Download：194/0  |  Submit date：2022/10/28
拼接光栅  共相调整  纵向位移误差  干涉测量