| 阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术 | |
王瑞 ; 韩建; 肖东; 叶慧琪; 唐靓; 郝俊; 翟洋; 郝志博
| |
| 2022-09 | |
| 发表期刊 | 光学学报
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| 卷号 | 42期号:18页码:119-127 |
| 摘要 | 共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段，位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差，实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接，从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响，并基于干涉测量原理，提出了一种基于迈克耳孙干涉系统，利用白光和双波长测量技术相结合的光栅拼接位移误差检测调整方法。通过对比不同调整量下干涉条纹位移变化的模拟计算结果与纳米位移平台实验结果，分析了傅里叶分析算法的计算精度，进而实现了位移误差的精确调整。实验计算结果表明，白光双波长测量技术实现的拼接光栅位移误差Δz小于6 nm，可满足大尺寸拼接光栅的共相检测要求。 |
| 关键词 | 测量 拼接光栅 共相调整 纵向位移误差 调整精度 |
| 学科领域 | 天文技术与方法 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1999 |
| 专题 | 期刊论文 中国科学院南京天文光学技术研究所知识成果 |
| 作者单位 | 南京天文光学技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王瑞,韩建,肖东,等. 阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术[J]. 光学学报,2022,42(18):119-127. |
| APA | 王瑞.,韩建.,肖东.,叶慧琪.,唐靓.,...&郝志博.(2022).阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术.光学学报,42(18),119-127. |
| MLA | 王瑞,et al."阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术".光学学报 42.18(2022):119-127. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术（1833KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | 浏览 下载 | |
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