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阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术
王瑞; 韩建; 肖东; 叶慧琪; 唐靓; 郝俊; 翟洋; 郝志博
2022-09
Source Publication光学学报
Volume42Issue:18Pages:119-127
Abstract

共相光栅拼接技术是目前研制米级大尺寸阶梯光栅的重要手段,位移误差调整精度对光栅的拼接精度有决定性影响。为消除拼接光栅中的周期性位移误差,实现大尺寸阶梯光栅的共相拼接,从理论出发分析了位移误差对拼接光栅点扩散函数的具体影响,并基于干涉测量原理,提出了一种基于迈克耳孙干涉系统,利用白光和双波长测量技术相结合的光栅拼接位移误差检测调整方法。通过对比不同调整量下干涉条纹位移变化的模拟计算结果与纳米位移平台实验结果,分析了傅里叶分析算法的计算精度,进而实现了位移误差的精确调整。实验计算结果表明,白光双波长测量技术实现的拼接光栅位移误差Δz小于6 nm,可满足大尺寸拼接光栅的共相检测要求。

Keyword测量 拼接光栅 共相调整 纵向位移误差 调整精度
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1999
Collection期刊论文
中国科学院南京天文光学技术研究所知识成果
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王瑞,韩建,肖东,等. 阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术[J]. 光学学报,2022,42(18):119-127.
APA 王瑞.,韩建.,肖东.,叶慧琪.,唐靓.,...&郝志博.(2022).阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术.光学学报,42(18),119-127.
MLA 王瑞,et al."阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术".光学学报 42.18(2022):119-127.
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