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一种微位移促动器的设计和检测 期刊论文
光学精密工程, 2005, 卷号: 13, 期号: 3, 页码: 332-338
作者:  李国平;  苗新利
浏览  |  Adobe PDF(423Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:381/155  |  提交时间:2013/12/24
微位移促动器  误差分析  校正  检测  传动机构