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光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测 期刊论文
光学精密工程, 2005, 卷号: 13, 期号: 2, 页码: 191-197
作者:  杨德华;  戚永军;  朱振东;  姜方华;  陈昆新;  张如
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微位移  分辨率  位移测量  杠杆  位移传感器