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一种大量程高精度阶梯光栅机械拼接位移检测系统及方法 专利
专利类型: 发明专利, 专利号: ZL202210481209.9, 申请日期: 2024-03-26,
发明人:  韩建;  王瑞;  肖东;  叶慧琪;  翟洋;  唐靓
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阶梯光栅拼接中的纵向位移误差精确调整技术 期刊论文
光学学报, 2022, 卷号: 42, 期号: 18, 页码: 119-127
作者:  王瑞;  韩建;  肖东;  叶慧琪;  唐靓;  郝俊;  翟洋;  郝志博
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测量  拼接光栅  共相调整  纵向位移误差  调整精度  
阶梯光栅共相拼接中周期性位移误差的高精度检测 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2022
作者:  王瑞
收藏  |  浏览/下载：313/0  |  提交时间：2022/10/28
拼接光栅  共相调整  纵向位移误差  干涉测量