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大口径镜面细磨阶段面形的摆臂式相对检验方法研究
学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
魏凯
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提交时间:2019/07/25
非球面检测
摆臂式轮廓仪
相对检验
标定
误差分析
一种用于镜面检验的相对式摆臂式轮廓仪及检测方法(授权发明)
专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL201910333161.5, 申请日期: 2019-04-24, 公开日期: 2020-12-29
发明人:
郑奕
;
魏凯
;
梁斌
;
李颖
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提交时间:2021/03/29