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极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光
郭伟远; 成贤锴
2012-01
Source Publication应用光学
Volume33Issue:1Pages:164-170
Abstract
在离子束抛光设备研制过程中,离子源扫描运动方式的选择是很关键的,一般分为直角坐标方式扫描和极坐标方式扫描两种。根据两种扫描方式的特点,在极坐标系统下进行直角坐标扫描方式加工。该种方法采用直角坐标扫描方式下的驻留时间计算,算法相对简单。该种方法在极坐标系统下进行加工,同等情况下可加工圆形镜面的口径比直角坐标系统下更大些;而且离子源的可移动区域是一条直线,其余地方可以摆放其他设备,空间利用率较高。对这种新思路进行仿真分析,证实了其具有可行性。
Keyword离子束抛光 极坐标系统 扫描方式 计算机控制光学表面成形
Subject Area天文镜面(材料、加工、检测)
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/537
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
大口径光学技术研究室_期刊论文
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GB/T 7714
郭伟远,成贤锴. 极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光[J]. 应用光学,2012,33(1):164-170.
APA 郭伟远,&成贤锴.(2012).极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光.应用光学,33(1),164-170.
MLA 郭伟远,et al."极坐标系统下进行直角坐标扫描的离子束抛光".应用光学 33.1(2012):164-170.
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