NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 期刊论文
离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法
郭伟远; 成贤锴; 梁斌
2011-09
Source Publication应用光学
Volume32Issue:5Pages:888-894
Abstract
在离子束抛光工艺中,驻留时间的求解是很关键的。通常求解驻留时间的时候,是用理想的高斯函数来近似实际的加工函数。如果使用实际的加工函数仿真加工,加工的效果不好。运用系数法和消去法的综合算法来提高采用实际加工函数仿真加工镜面面型的精度,首先多次用系数法得到比较理想且平滑的镜面面型,然后再用消去法精修面型。这种算法运算速度快,得到的面型精度高且较平滑。对这种综合算法进行仿真分析,比较了理想高斯函数与实际加工函数加工后的差别,同时比较了运用消去算法与综合算法得到的镜面面型,PV 值由83.63nm减小到46.92nm,镜面精度提高了很多。
Keyword离子束抛光 驻留时间 矩阵运算 计算机控制光学表面成形
Subject Area天文镜面(材料、加工、检测)
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/527
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
大口径光学技术研究室_期刊论文
Recommended Citation
GB/T 7714
郭伟远,成贤锴,梁斌. 离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法[J]. 应用光学,2011,32(5):888-894.
APA 郭伟远,成贤锴,&梁斌.(2011).离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法.应用光学,32(5),888-894.
MLA 郭伟远,et al."离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法".应用光学 32.5(2011):888-894.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法.pd(891KB) 开放获取CC BY-NC-NDView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[梁斌]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[梁斌]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[郭伟远]'s Articles
[成贤锴]'s Articles
[梁斌]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 离子束抛光工艺中驻留时间的综合算法.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.