LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析 | |
吕立冬; 李新南 | |
2009-01 | |
发表期刊 | 真空 |
卷号 | 46期号:1页码:33-37 |
摘要 |
选取多个钨丝均匀的分布在一个圆周上,形成一个环状蒸发源。把每个钨丝看成一个标准的点蒸发源,与LAMOST 子镜建立模型形成一个蒸发沉积系统。把镜面离散成一个致密的具有特定坐标点的阵列,把每个点蒸发源对镜面上特定点的膜层厚度的贡献相加,从而得出膜层厚度的采样值。文章分析了点源的个数、圆环的半径、源基距、以及蒸发源的发射特性对膜层均匀性的影响,最终确定选取了12 个钨丝,把源基距定为0.8 m,把圆环半径定为0.55 m。设计了相应的挡板实现了膜层不均匀性低于5%的要求。
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关键词 | 镀膜 蒸发技术 真空镀铝 几何建模 均匀性 |
学科领域 | 郭守敬望远镜(lamost) ; 天文技术与方法 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/492 |
专题 | 期刊论文 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吕立冬,李新南. LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析[J]. 真空,2009,46(1):33-37. |
APA | 吕立冬,&李新南.(2009).LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析.真空,46(1),33-37. |
MLA | 吕立冬,et al."LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析".真空 46.1(2009):33-37. |
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LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发(830KB) | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 |
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