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LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析
吕立冬; 李新南
2009-01
Source Publication真空
Volume46Issue:1Pages:33-37
Abstract
选取多个钨丝均匀的分布在一个圆周上,形成一个环状蒸发源。把每个钨丝看成一个标准的点蒸发源,与LAMOST 子镜建立模型形成一个蒸发沉积系统。把镜面离散成一个致密的具有特定坐标点的阵列,把每个点蒸发源对镜面上特定点的膜层厚度的贡献相加,从而得出膜层厚度的采样值。文章分析了点源的个数、圆环的半径、源基距、以及蒸发源的发射特性对膜层均匀性的影响,最终确定选取了12 个钨丝,把源基距定为0.8 m,把圆环半径定为0.55 m。设计了相应的挡板实现了膜层不均匀性低于5%的要求。
 
Keyword镀膜 蒸发技术 真空镀铝 几何建模 均匀性
Subject Area郭守敬望远镜(lamost) ; 天文技术与方法
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/492
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
大口径光学技术研究室_期刊论文
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GB/T 7714
吕立冬,李新南. LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析[J]. 真空,2009,46(1):33-37.
APA 吕立冬,&李新南.(2009).LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析.真空,46(1),33-37.
MLA 吕立冬,et al."LAMOST子镜真空镀铝系统中的多点蒸发源建模分析".真空 46.1(2009):33-37.
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