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非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明)
张勇; 李烨平
2012-06-06
Rights Holder中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
Date Available2010-12-22
Country中国
Subtype发明
Other Abstract非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器,被检测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上,其特征在于,在所述支撑系统的桁架上设置有一个基准板,在该基准板对着子镜的一面、与子镜镜面对应的位置上,安装有电容极板;同时,将对应的被检测子镜镜面的反射金属膜层或者金属镜面本身,作为电容的另一个极板;将该两个电容极板与电容位移传感器的检测电路连接。本发明能直接实现拼接镜面高低差检测。具有原理清晰明了、结构紧凑、工艺简单和高低差检测精度高等优点;相对于传统经典的传感器,能直接、非接触地获得镜面高低差,不引入其它杂散光。本发明适用于各种光学或者射电系统的镜面高低差检测。
Subject Area主动光学
Application Date2010-03-09
Patent NumberCN201010120779.2
Status授权
Application NumberCN201010120779.2
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/253
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_专利
望远镜新技术研究室_专利
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GB/T 7714
张勇,李烨平. 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明). CN201010120779.2[P]. 2012-06-06.
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