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非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明)
张勇; 李烨平
2012-06-06
专利权人中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
公开日期2010-12-22
授权国家中国
专利类型发明
其他摘要非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器,被检测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上,其特征在于,在所述支撑系统的桁架上设置有一个基准板,在该基准板对着子镜的一面、与子镜镜面对应的位置上,安装有电容极板;同时,将对应的被检测子镜镜面的反射金属膜层或者金属镜面本身,作为电容的另一个极板;将该两个电容极板与电容位移传感器的检测电路连接。本发明能直接实现拼接镜面高低差检测。具有原理清晰明了、结构紧凑、工艺简单和高低差检测精度高等优点;相对于传统经典的传感器,能直接、非接触地获得镜面高低差,不引入其它杂散光。本发明适用于各种光学或者射电系统的镜面高低差检测。
学科领域主动光学
申请日期2010-03-09
专利号CN201010120779.2
专利状态授权
申请号CN201010120779.2
文献类型专利
条目标识符http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/253
专题专利
推荐引用方式
GB/T 7714
张勇,李烨平. 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器(发明). CN201010120779.2[P]. 2012-06-06.
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文件名: 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器.pdf
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