非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明）

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	非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明）
	张勇; 李烨平
	2012-06-06
专利权人	中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
公开日期	2010-12-22
授权国家	中国
专利类型	发明
其他摘要	非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器，被检测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上，其特征在于，在所述支撑系统的桁架上设置有一个基准板，在该基准板对着子镜的一面、与子镜镜面对应的位置上，安装有电容极板；同时，将对应的被检测子镜镜面的反射金属膜层或者金属镜面本身，作为电容的另一个极板；将该两个电容极板与电容位移传感器的检测电路连接。本发明能直接实现拼接镜面高低差检测。具有原理清晰明了、结构紧凑、工艺简单和高低差检测精度高等优点；相对于传统经典的传感器，能直接、非接触地获得镜面高低差，不引入其它杂散光。本发明适用于各种光学或者射电系统的镜面高低差检测。
学科领域	主动光学
申请日期	2010-03-09
专利号	CN201010120779.2
专利状态	授权
申请号	CN201010120779.2
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/253
专题	专利
推荐引用方式 GB/T 7714	张勇,李烨平. 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明）. CN201010120779.2[P]. 2012-06-06.

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非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位（330KB）			开放获取	CC BY-NC-ND	浏览下载