| 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明） | |
张勇 ; 李烨平
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| 2012-06-06 | |
| Rights Holder | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
| Date Available | 2010-12-22 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Other Abstract | 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器，被检测的各子镜镜面安装在支撑系统的桁架上，其特征在于，在所述支撑系统的桁架上设置有一个基准板，在该基准板对着子镜的一面、与子镜镜面对应的位置上，安装有电容极板；同时，将对应的被检测子镜镜面的反射金属膜层或者金属镜面本身，作为电容的另一个极板；将该两个电容极板与电容位移传感器的检测电路连接。本发明能直接实现拼接镜面高低差检测。具有原理清晰明了、结构紧凑、工艺简单和高低差检测精度高等优点；相对于传统经典的传感器，能直接、非接触地获得镜面高低差，不引入其它杂散光。本发明适用于各种光学或者射电系统的镜面高低差检测。 |
| Subject Area | 主动光学 |
| Application Date | 2010-03-09 |
| Patent Number | CN201010120779.2 |
| Status | 授权 |
| Application Number | CN201010120779.2 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/253 |
| Collection | 专利 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 张勇,李烨平. 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明）. CN201010120779.2[P]. 2012-06-06. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位（330KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | View Download | |||
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