NIAOT OpenIR
一种大口径高精度光学元件膜层应力形变调控方法
王晋峰; 田杰
2023-03-31
Rights Holder南京天文光学技术研究所
Country中国
Subtype发明专利
Abstract

本发明公开了一种大口径高精度光学元件膜层应力形变调控方法,其步骤包括:在光学元件的前表面进行主膜系的镀制;在光学元件的后表面进行一次镀膜,即镀制用于抵消光学元件面形变化的抵消膜层;对抵消膜层进行均匀减薄,控制减薄厚度,根据面形精度控制需要,每减薄5nm-50nm,进行一次光学元件表面面形的检测,直至接近或达到镀膜前的面形精度。本发明由于采用均匀减薄的可控技术,使得光学元件接近或达到镀膜前的面形精度,对于现有技术而言是无法达到的;由于用于抵消的膜层厚度只进行了一次镀膜,高质量光学元件表面质量得以保证;本发明的方法无需进行反向抛光补偿膜系应力变形,大大提高了大口径高精度光学元件的生产效率。

Subject Area天文技术与方法
Application Date2021-08-20
Patent NumberZL202110959643.9
Language中文
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/2133
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所知识成果
专利
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王晋峰,田杰. 一种大口径高精度光学元件膜层应力形变调控方法. ZL202110959643.9[P]. 2023-03-31.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
一种大口径高精度光学元件膜层应力形变调控(12697KB)专利 开放获取CC BY-NC-SAView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[王晋峰]'s Articles
[田杰]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[王晋峰]'s Articles
[田杰]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[王晋峰]'s Articles
[田杰]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 一种大口径高精度光学元件膜层应力形变调控方法_王晋峰.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.