NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 学位论文
大型反射镜离子辅助淀积技术研究
王晋峰
Subtype硕士
Thesis Advisor高必烈 ; 熊胜明
2003-06
Degree Grantor中国科学院研究生院
Degree Discipline天体物理
Keyword反射镜 离子源 电子束 离子源辅助淀积
Abstract大型反射镜中铝膜的应用比较广泛,铝是从紫外到红外都有很高反射率的唯一材料,同时铝膜表面在大气中能生成一层薄的氧化铝,所以膜比较牢固、稳定。然而由于银膜在可见区和红外区有更高的反射率,用银制造的前表面反射镜可以比铝镜的反射率高出约10%,而且在倾斜使用时引入的偏振效应也最小,因此近些年来已逐步在光学仪器中用银反射镜取代铝反射镜。本论文从大型反射镜应用的具体需要出发,为提高反射膜反射率和增强银膜环境稳定性及膜层牢固性进行了研究。主要涉及以下几方面内容:

(1) 金属增强型反射薄膜研究 通过反复多次实验,结合国内外文献,导出铜基银增强型反射膜系,得到了宽波段高反射膜。进行了一系列环境稳定性及膜层牢固性实验,取得了较好结果。并利用X射线光电子谱并结合刻蚀技术对测试片进行了逐层分析,运用晶界扩散理论进行了解释。这些膜系设计新颖,设计结果具有很强的实用性,该研究在国内尚属首次。

(2) 离子源辅助淀积技术 介绍了传统离子源的结构、性能及MARK-III离子源的结构、特性及其优势所在。介绍了近期在MARKIII离子源上所开展的工作:即用离子辅助的方法淀积了氧化物薄膜,膜层吸收大大降低;进行了金属增强型反射膜系的离子辅助淀积实验。这些研究在国内尚属首次。

(3) 大型反射镜膜系淀积技术 根据在ZZS—2200大型真空镀膜机展开的工作,主要介绍了反射膜系的淀积系统及参数;大镜面的清洗技术;膜层监控技术;电子束技术制备光学薄膜;膜层的均匀性。
Subject Area天文技术与方法
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/178
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_学位论文
大口径光学技术研究室_学位论文
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GB/T 7714
王晋峰. 大型反射镜离子辅助淀积技术研究[D]. 中国科学院研究生院,2003.
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