主动抛光盘控制技术的研究 | |
李颖 | |
Subtype | 硕士 |
Thesis Advisor | 张振超 ; 汪达兴 |
2005-06 | |
Degree Grantor | 中国科学院研究生院 |
Degree Discipline | 天体物理 |
Keyword | 主动抛光盘 变形 深非球面度 动态响应 |
Abstract |
本文简单介绍了主动抛光盘技术的基本原理,重点讨论了抛光盘的变形技术,并对抛光盘的变形测试进行了精度分析。为了探讨深非球面度镜面的磨制,在对F/2面形变形测试的基础上,根据抛光盘机电结构,选择了F/1.5、F/1.2面形进行了变形测试。随着抛光盘非球面度的变深,由于系统响应速度跟不上,变形误差变大,因此进一步探讨了主动抛光盘的动态响应和校正。
最后根据抛光盘前期设计的经验和变形测试中发现的问题,对磨镜机床控制系统以及抛光盘的变形控制系统进行了改进设计,并对变形系统进行了仿真。 |
Subject Area | 天文镜面(材料、加工、检测) ; 自动控制 |
Document Type | 学位论文 |
Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/173 |
Collection | 学位论文 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李颖. 主动抛光盘控制技术的研究[D]. 中国科学院研究生院,2005. |
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