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大口径自适应镜面微位移测量系统设计
左恒1,2; 刘志民1,2,3
2018-07
Source Publication光学精密工程
Volume26Issue:7Pages:1612-1621
Abstract
针对大口径自适应副镜镜面变形量小、变化频率高、微变形难以精确测量的难题,设计一种基于电容检测芯片Pcap01-AD和STM32F103的镜面变形检测系统。首先,根据音圈电机驱动的变形镜的特点提出基于电容位移传感的变形镜微变形测量方案。然后,进行该测量系统的硬件和软件设计,其中硬件部分由电容检测芯片Pcap01接口电路、单片机STM31F103最小系统和供电部分构成,软件部分包括实现电容数字信号采集的C程序设计、Pcap01-AD与单片机的通讯程序和数据处理程序。

最后,设计实验平台进行多次试验。试验测试结果表明,在变形镜±50μm 的位移区间内,测量灵敏度为200pF/3μm,10nm的位移量对应的电容变化为0.067pF。该系统测量精度高、误差小、检测效率高,能够用于自适应镜面的变形检测,同时也适用于其他微小位移的检测。
Keyword自适应副镜 微位移测量 Pcap01电容数字转换芯片 Stm32f103单片机
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1507
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
望远镜新技术研究室_期刊论文
Affiliation1.南京天文光学技术研究所
2.天文光学技术重点实验室
3.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
左恒,刘志民. 大口径自适应镜面微位移测量系统设计[J]. 光学精密工程,2018,26(7):1612-1621.
APA 左恒,&刘志民.(2018).大口径自适应镜面微位移测量系统设计.光学精密工程,26(7),1612-1621.
MLA 左恒,et al."大口径自适应镜面微位移测量系统设计".光学精密工程 26.7(2018):1612-1621.
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