碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法（授权发明）

NIAOT OpenIR > 专利

	碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法（授权发明）
	王晋峰; 王烨儒
	2015-06-23
公开日期	2017-10-31
授权国家	中国
专利类型	发明
摘要	碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴. 真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵. 蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶. 掩膜板形状的确定；⑷. 在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸. 对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工，蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光，因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。
学科领域	天文技术与方法
授权日期	2017-10-31
专利号	ZL201510346877.0
语种	中文
专利状态	授权
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1457
专题	专利
作者单位	南京天文光学技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法（授权发明）. ZL201510346877.0[P]. 2015-06-23.