| 特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调 | |
武中华1,2,3 ; 袁吕军1,2; 朱永田1,2; 何丽1,2
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| 2017-07 | |
| Source Publication | 应用光学
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| Volume | 38Issue:4Pages:639-643 |
| Abstract | 针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜，设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离，实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果，2片补偿镜之间倾斜误差4.4″，平移误差3.5μm，镜间隔误差3.8μm；补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″，平移误差4.2μm，镜间隔误差7.2μm，满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测，面形结果PV值达到0.135λ，RMS值达到0.019 5λ，优于设计要求。 |
| Keyword | 光学检测 离轴非球面 零位补偿器 镜筒结构设计 补偿器装调 |
| Subject Area | 天文技术与方法 |
| Language | 中文 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1434 |
| Collection | 期刊论文 |
| Affiliation | 1.南京天文光学技术研究所 2.中科院天文光学技术重点实验室 3.中国科学院大学 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 武中华,袁吕军,朱永田,等. 特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调[J]. 应用光学,2017,38(4):639-643. |
| APA | 武中华,袁吕军,朱永田,&何丽.(2017).特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调.应用光学,38(4),639-643. |
| MLA | 武中华,et al."特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调".应用光学 38.4(2017):639-643. |
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| 特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装（1425KB） | 期刊论文 | 出版稿 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Application Full Text | |
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