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特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调
武中华1,2,3; 袁吕军1,2; 朱永田1,2; 何丽1,2
2017-07
Source Publication应用光学
Volume38Issue:4Pages:639-643
Abstract针对快焦比特大非球面度离轴非球面反射镜,设计了3片式Offner补偿器。为应对3片式补偿器对中心偏差及镜间隔严格的公差要求,设计了相应的补偿器镜筒结构。该结构使透镜中心倾斜及平移调整相分离,实现补偿器的高精度装调。根据中心偏差测量仪的测量结果,2片补偿镜之间倾斜误差4.4″,平移误差3.5μm,镜间隔误差3.8μm;补偿镜组与场镜之间倾斜误差5.3″,平移误差4.2μm,镜间隔误差7.2μm,满足检测使用要求。利用该补偿器及4D动态干涉仪对精抛光阶段的离轴非球面进行检测,面形结果PV值达到0.135λ,RMS值达到0.019 5λ,优于设计要求。
Keyword光学检测 离轴非球面 零位补偿器 镜筒结构设计 补偿器装调
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1434
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
镜面技术实验室_期刊论文
Affiliation1.南京天文光学技术研究所
2.中科院天文光学技术重点实验室
3.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
武中华,袁吕军,朱永田,等. 特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调[J]. 应用光学,2017,38(4):639-643.
APA 武中华,袁吕军,朱永田,&何丽.(2017).特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调.应用光学,38(4),639-643.
MLA 武中华,et al."特大非球面度离轴非球面补偿器结构设计与装调".应用光学 38.4(2017):639-643.
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