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离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术
武中华1,2,3; 袁吕军1,2; 朱永田1,2; 何丽1,2; 康燕1,2; 苏志德1,2; 孔维斌1,2
2017-03
Source Publication光子学报
Volume46Issue:3Pages:129-135
Other Abstract基于付科法的离轴非球面波面再现检测技术,通过对付科检测过程的数学分析,建立了离轴非球面波面再现的数学模型,提出了波面整合算法,通过对两幅阴影图灰度值积分、去倾斜及波面整合等数据处理再现出被检离轴非球面的波面误差。在被检离轴非球面两个方向的弥散斑分别为0.152mm和0.284mm时,干涉检测得到其面形误差峰谷值为1.110μm、均方根值为0.194μm,且两种检测方法的波面轮廓相一致。实验结果验证了基于付科法的离轴非球面再现技术的正确性,可以应用于指导离轴非球面在细磨粗抛阶段的加工并且实现与精抛光阶段干涉检测的有效衔接。
Keyword测量 离轴非球面 付科法 光学检测 波面再现
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1431
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
镜面技术实验室_期刊论文
Affiliation1.南京天文光学技术研究所
2.中科院天文光学技术重点实验室
3.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
武中华,袁吕军,朱永田,等. 离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术[J]. 光子学报,2017,46(3):129-135.
APA 武中华.,袁吕军.,朱永田.,何丽.,康燕.,...&孔维斌.(2017).离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术.光子学报,46(3),129-135.
MLA 武中华,et al."离轴非球面在细磨与粗抛阶段的波面再现技术".光子学报 46.3(2017):129-135.
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