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光学超宽带增透膜的复合制作方法(授权发明)
王晋峰; 王烨儒; 田杰
2015-01-08
Country中国
Subtype发明
Abstract超宽带增透膜复合工艺方法,包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜;真空蒸镀成膜工艺:准备工作,清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料;抽真空;预热膜料;将膜料气化沉积到所述光学镜片表面;烘烤60分钟;进行氟化镁层蒸镀;在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀,蒸镀的膜层厚度为4纳米;步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺;步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。

本发明减少了宽带增透膜的膜层数,拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺,膜层具有良好的疏水性和自清洁性能,有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法,在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。
Keyword王晋峰 王烨儒 田杰
Subject Area天文技术与方法
Copyright Date2016-05-18
Patent NumberZL201510010517.3
Language中文
Status授权
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1364
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_专利
大口径光学技术研究室_专利
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王晋峰,王烨儒,田杰. 光学超宽带增透膜的复合制作方法(授权发明). ZL201510010517.3[P]. 2015-01-08.
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