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大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测
何丽1,2; 武中华1,2,3; 康燕1,2; 苏志德1,2
2016-12
Source Publication激光与光电子学进展
Volume53Issue:12Pages:122201-1-8
Abstract
近年来,大口径、大非球面度、快焦比、高次非球面光学元件在天文光学、空间光学和地基空间目标探测与识别等领域得到了越来越广泛的应用。目前对此类光学元件的检测一般采用零位补偿法或消回程误差的非零位检测法。其中消回程误差的非零位补偿法处理过程复杂,缺乏检测直观性,且测量精度无法保证,故在针对一些面形精度要求非常高的镜面时并不适用。
以口径为1020mm、焦比为1/0.5、非球面度为1.8mm、高次项达6次的凹高次非球面反射镜检测为研究基础,提出了分阶段设计零位补偿检验光路的新思路,以满足此类镜面在粗抛、精抛、干涉仪检测等不同研制与检验阶段的需求。最终检测面形精度达到了λ/50。
Keyword光学设计 大口径非球面检测 非球面研制 零位补偿器设计 组合检验
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1339
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_期刊论文
镜面技术实验室_期刊论文
Affiliation1.南京天文光学技术研究所
2.中国科学院天文光学技术重点实验室
3.中国科学院大学
Recommended Citation
GB/T 7714
何丽,武中华,康燕,等. 大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测[J]. 激光与光电子学进展,2016,53(12):122201-1-8.
APA 何丽,武中华,康燕,&苏志德.(2016).大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测.激光与光电子学进展,53(12),122201-1-8.
MLA 何丽,et al."大非球面度快焦比中大口径高次非球面检测".激光与光电子学进展 53.12(2016):122201-1-8.
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