NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 学位论文
大口径光学元件薄膜镀制技术研究
王晋峰
Subtype博士
Thesis Advisor崔向群 ; 毛伟军
2009-06
Degree Grantor中国科学院研究生院
Degree Discipline天体物理
Keyword大型望远镜 大口径光学元件 离子辅助 Ito(铟- 锡氧化 物) 法布里- 珀珞标准具 膜层应力
Abstract
本文将结合新一代天文光学望远镜和相关国家科研任务的需要, 围绕所内相关课题的需求, 开展大口径光学薄膜镀制技术的研究, 主要内容包括:

1、LAMOST 子镜反射膜镀制技术研究
列举了当前国外大型天文望远镜主镜膜层镀制技术, 介绍了本文所使用的1.6 米电子束蒸发镀膜机系统设计与配置情况,详细论述了LAMOST望远镜子镜反射膜的镀制技术,进而探讨了将来LAMOST 望远镜子镜重新镀膜所需的专用镀膜机方案及方案涉及的多点蒸发源膜厚均匀性计算问题, 最后介绍了银增强型反射膜系的实验情况。
 
2、大口径光学元件介质膜系镀制技术研究
介绍了大口径光学元件薄膜的镀制工艺。研究了1.6米镀膜机不同蒸发材料的膜厚分布情况,分析了造成膜系性能不重复的原因,介绍了相关镀膜材料的蒸发工艺,提出了大口径光学元件膜厚均匀性的修正方法。采用递进的修正方法获得了在Φ800mm 口径的平面内膜厚均匀性优于±1%的较好结果; 分析了透明导电膜的导电机理,为ITO膜的实际镀制提出了实验方向。采用电子束蒸发辅以氧离子辅助的方式成功镀制了口径Φ 500mm,膜层面电阻小于40Ω 的ITO 薄膜,利用离子辅助蒸发的方式实现大口径ITO薄膜的研制具有很强的实用性。
 
3、法布里- 珀珞标准具中相关薄膜的研究
对太阳观测仪器所用之法布里- 珀珞标准具中相关薄膜进行了研究,包括法布里- 珀珞标准具的基本原理,膜层性能对标准具的影响,镀膜材料的选择,膜层应力的影响及测试,膜层均匀性, 相关薄膜的设计以及膜系的实验结果。

Subject Area天文技术与方法
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/129
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_学位论文
大口径光学技术研究室_学位论文
Recommended Citation
GB/T 7714
王晋峰. 大口径光学元件薄膜镀制技术研究[D]. 中国科学院研究生院,2009.
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