NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 学位论文
大口径光学平面的绝对检验方法
刘强
Subtype硕士
Thesis Advisor李新南 ; 徐晨
2016-05
Degree Grantor中国科学院研究生院
Place of Conferral北京
Keyword光学检测 干涉检测 大口径平面 双平晶互检法
Abstract光学干涉测量是公认的高精度检测光学元件和光学系统的一种技术手段。平面干涉仪是一种基于光学干涉原理,测量光学平面表面轮廓形状的高精度测量设备。平面干涉仪的标准透射平晶的面形精度直接决定了干涉仪的检测精度。本文在传统平面绝对检测方法的基础之上,研究了一种适合于大口径平面绝对检测的方法—双平晶互检法。

本文利用双平晶互检法对口径为Φ150mm干涉仪的标准平晶的误差分布进行了标定,并用口径为Φ300mm的波长移相平面干涉仪来检测该标准平晶的面形误差分布,将二者结果进行对比,符合良好,验证了该方法的可行性。

本方法只需要一块辅助平晶就可完成对干涉仪标准平面的标定,操作过程中,干涉仪的参考平晶不需要更换,大大降低了检测风险,提高了检测效率。该方法通过对干涉仪标准平面误差分布的绝对测量,解决了目前干涉仪精度受限于标准平晶精度的问题,为将来研制更大口径平面干涉仪提供技术支持。 针对口径大于平面干涉仪情况下,平面封窗透射波前的检测需求,本文提出了一种新型的封窗全口径透射检验方案,将待测封窗置于由球面干涉仪和大口径、长焦距凹球面标准镜组成的光路中进行透射检验。利用该检测方法成功加工一块口径为Φ856mm ,厚度为35mm的熔融石英材料的平面封窗,透射波前优于RMS(均方根)0.02λ,(λ=632.8nm),验证了该检测方法对于大口径封窗的透射检验是行之有效的。
Subject Area天文技术与方法
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1288
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_学位论文
大口径光学技术研究室_学位论文
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
刘强. 大口径光学平面的绝对检验方法[D]. 北京. 中国科学院研究生院,2016.
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