| 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法 | |
王晋峰 ; 王烨儒
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| 2015-06-23 | |
| Date Available | 2015-10-28 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 发明 |
| Other Abstract | 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶.掩膜板形状的确定；⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸.对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工，蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光，因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。 |
| Claim | 一种碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶.掩膜板形状的确定；⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸.对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。 |
| Subject Area | 天文技术与方法 |
| Patent Number | 暂无 |
| Language | 中文 |
| Status | 审中 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240 |
| Collection | 专利 |
| Affiliation | 南京天文光学技术研究所 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无[P]. 2015-06-23. |
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| 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备（6104KB） | 专利 | 开放获取 | CC BY-NC-SA | View Download | ||
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