| 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法 |
| 王晋峰 ; 王烨儒
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| 2015-06-23
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| 公开日期 | 2015-10-28
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 其他摘要 | 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶.掩膜板形状的确定；⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸.对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工，蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光，因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。 |
| 主权项 | 一种碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法，其特征在于，步骤如下：⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定；⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导；⑶.掩膜板形状的确定；⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后，利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上，以实现碳化硅非球面的初步成型；⑸.对致密改性层进行光学精密抛光，最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。 |
| 学科领域 | 天文技术与方法
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| 专利号 | 暂无
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 审中
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240
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| 专题 | 专利
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| 作者单位 | 南京天文光学技术研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无[P]. 2015-06-23.
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文件名：
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碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法.pdf
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格式：
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Adobe PDF
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