NIAOT OpenIR  > 专利
碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法
王晋峰; 王烨儒
2015-06-23
公开日期2015-10-28
授权国家中国
专利类型发明
其他摘要碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定;⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导;⑶.掩膜板形状的确定;⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后,利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上,以实现碳化硅非球面的初步成型;⑸.对致密改性层进行光学精密抛光,最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工,蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光,因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。
主权项一种碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定;⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导;⑶.掩膜板形状的确定;⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后,利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上,以实现碳化硅非球面的初步成型;⑸.对致密改性层进行光学精密抛光,最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。
学科领域天文技术与方法
专利号暂无
语种中文
专利状态审中
文献类型专利
条目标识符http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240
专题专利
作者单位南京天文光学技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无[P]. 2015-06-23.
条目包含的文件 下载所有文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备(6104KB)专利 开放获取CC BY-NC-SA浏览 下载
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[王晋峰]的文章
[王烨儒]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[王晋峰]的文章
[王烨儒]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[王晋峰]的文章
[王烨儒]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
文件名: 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法.pdf
格式: Adobe PDF
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。