NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 专利
碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法
王晋峰; 王烨儒
2015-06-23
Date Available2015-10-28
Country中国
Subtype发明
Other Abstract碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定;⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导;⑶.掩膜板形状的确定;⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后,利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上,以实现碳化硅非球面的初步成型;⑸.对致密改性层进行光学精密抛光,最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。本发明可用于大口径非球面的加工,蒸镀材料可以根据光学元件的性质进行选择。由于在碳化硅非球面成型与改性后还要进行光学精密抛光,因此可以获得高精度低粗糙度的碳化硅非球面元件。
Claim一种碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法,其特征在于,步骤如下:⑴.真空蒸镀材料膜厚分布的确定;⑵.蒸镀非球面膜厚分布的推导;⑶.掩膜板形状的确定;⑷.在设置好步骤⑶确定的掩膜板以后,利用真空蒸发镀膜技术蒸镀改性材料到碳化硅起始球面之上,以实现碳化硅非球面的初步成型;⑸.对致密改性层进行光学精密抛光,最终得到改性后的碳化硅非球面反射镜。
Subject Area天文技术与方法
Patent Number暂无
Language中文
Status审中
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1240
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_专利
大口径光学技术研究室_专利
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王晋峰,王烨儒. 碳化硅非球面反射镜加工与改性一体化的制备方法. 暂无[P]. 2015-06-23.
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