大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法

NIAOT OpenIR > 专利

	大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法
	徐秋云; 徐晨; 李博; 李新南
	2015-04-10
公开日期	2015-07-15
授权国家	中国
专利类型	发明
其他摘要	大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法：1：设计对有限距离共轭的消球差单透镜，透镜一面是球面另一面叠加偶次项；2：把离轴子镜平移至干涉仪的光轴上，绕子镜的顶点进行旋转；3：在消球差单透镜之前插入计算全息片，实现自准直检测；4：在计算全息片的补偿相位基础上加入载频；5：针对某一特定离轴量的子镜，用光学设计软件进行优化设计；6：设计计算全息片的加工工艺参数；7：重复以上步骤，针对不同离轴量的离轴子镜，设计检测光路，设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。本发明检测不同离轴量的子镜时，只需更换计算全息片。计算全息片口径小、设计加工精度高，装调方便、节约成本。
主权项	一种大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法，其特征在于，步骤如下：步骤1：设计一个对有限距离共轭的消球差单透镜，该透镜一面是球面，另外一面在球面的基础上叠加偶次项；步骤2：把离轴子镜平移至干涉仪出射光束的光轴上，绕子镜的顶点进行旋转，使入射到子镜顶点的光线沿顶点的法线方向；步骤3：在消球差单透镜之前插入计算全息片，计算全息片补偿的相位用Zernike多项式进行拟合，计算全息片和消球差单透镜共同作用，使得光线在各个点均沿待检子镜的法线方向入射，所有光线沿原路返回，实现自准直检测；步骤4：在计算全息片的补偿相位基础上加入载频，避免非工作衍射级次的光对检测光路造成干扰；步骤5：针对某一特定离轴量的子镜，用光学设计软件进行优化设计，首先优化子镜到消球差单透镜的最佳距离，然后优化设计计算全息片，得到计算全息片的相位分布；对相位求一阶导数，得到全息片条纹的空间频率分布；步骤6：设计计算全息片的加工工艺参数；步骤7：重复以上步骤，针对不同离轴量的离轴子镜，设计检测光路，设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。
学科领域	天文技术与方法
专利号	暂无
语种	中文
专利状态	审中
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1231
专题	专利
作者单位	南京天文光学技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	徐秋云,徐晨,李博,等. 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法. 暂无[P]. 2015-04-10.

条目包含的文件		下载所有文件
文件名称/大小	文献类型	版本类型	开放类型	使用许可
大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法.p（5047KB）	专利		开放获取	CC BY-NC-SA	浏览下载