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大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法
徐秋云; 徐晨; 李博; 李新南
2015-04-10
Date Available2015-07-15
Country中国
Subtype发明
Other Abstract大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法:1:设计对有限距离共轭的消球差单透镜,透镜一面是球面另一面叠加偶次项;2:把离轴子镜平移至干涉仪的光轴上,绕子镜的顶点进行旋转;3:在消球差单透镜之前插入计算全息片,实现自准直检测;4:在计算全息片的补偿相位基础上加入载频;5:针对某一特定离轴量的子镜,用光学设计软件进行优化设计;6:设计计算全息片的加工工艺参数;7:重复以上步骤,针对不同离轴量的离轴子镜,设计检测光路,设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。本发明检测不同离轴量的子镜时,只需更换计算全息片。计算全息片口径小、设计加工精度高,装调方便、节约成本。
Claim一种大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法,其特征在于,步骤如下:步骤1:设计一个对有限距离共轭的消球差单透镜,该透镜一面是球面,另外一面在球面的基础上叠加偶次项;步骤2:把离轴子镜平移至干涉仪出射光束的光轴上,绕子镜的顶点进行旋转,使入射到子镜顶点的光线沿顶点的法线方向;步骤3:在消球差单透镜之前插入计算全息片,计算全息片补偿的相位用Zernike多项式进行拟合,计算全息片和消球差单透镜共同作用,使得光线在各个点均沿待检子镜的法线方向入射,所有光线沿原路返回,实现自准直检测;步骤4:在计算全息片的补偿相位基础上加入载频,避免非工作衍射级次的光对检测光路造成干扰;步骤5:针对某一特定离轴量的子镜,用光学设计软件进行优化设计,首先优化子镜到消球差单透镜的最佳距离,然后优化设计计算全息片,得到计算全息片的相位分布;对相位求一阶导数,得到全息片条纹的空间频率分布;步骤6:设计计算全息片的加工工艺参数;步骤7:重复以上步骤,针对不同离轴量的离轴子镜,设计检测光路,设计的内容包括待检镜面到消球差单透镜的距离、主全息的相位分布、对准全息的相位分布。
Subject Area天文技术与方法
Patent Number暂无
Language中文
Status审中
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1231
Collection专利
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
徐秋云,徐晨,李博,等. 大口径、批量化离轴子镜的面形检测方法. 暂无[P]. 2015-04-10.
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