NIAOT OpenIR  > 中国科学院南京天文光学技术研究所  > 专利
光学超宽带增透膜的复合制作方法
王晋峰; 王烨儒; 田杰
2015-01-08
Date Available2015-04-22
Country中国
Subtype发明
Other Abstract超宽带增透膜复合工艺方法,包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜;真空蒸镀成膜工艺:准备工作,清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料;抽真空;预热膜料;将膜料气化沉积到所述光学镜片表面;烘烤60分钟;进行氟化镁层蒸镀;在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀,蒸镀的膜层厚度为4纳米;步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺;步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数,拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺,膜层具有良好的疏水性和自清洁性能,有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法,在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。
Claim一种超宽带增透膜复合工艺方法,其特征在于,包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜两种工艺过程;其中真空蒸镀成膜工艺过程包括以下工作步骤:⑴.准备工作,清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料;⑵.抽真空,对所述真空室进行抽真空;⑶.在300摄氏度的烘烤温度下恒定60分钟;⑷.进行氟化镁层蒸镀,蒸镀的膜层厚度为83纳米;⑸.在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀,蒸镀的膜层厚度为4纳米;⑹.待光学镜片自然冷却后将进一步进行溶胶凝胶成膜工艺过程;其中,溶胶凝胶成膜工艺过程包括以下工作步骤:⑺.制取碱催化溶胶;⑻.真空蒸镀后的光学镜片的洁净处理;⑼.在提拉浸渍镀膜机上成膜;⑽.胶膜的干燥及后处理。
Subject Area天文技术与方法
Patent Number暂无
Language中文
Status审中
Document Type专利
Identifierhttp://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1228
Collection中国科学院南京天文光学技术研究所_专利
大口径光学技术研究室_专利
Affiliation南京天文光学技术研究所
Recommended Citation
GB/T 7714
王晋峰,王烨儒,田杰. 光学超宽带增透膜的复合制作方法. 暂无[P]. 2015-01-08.
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