| 光学超宽带增透膜的复合制作方法 |
| 王晋峰; 王烨儒; 田杰
|
| 2015-01-08
|
公开日期 | 2015-04-22
|
授权国家 | 中国
|
专利类型 | 发明
|
其他摘要 | 超宽带增透膜复合工艺方法,包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜;真空蒸镀成膜工艺:准备工作,清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料;抽真空;预热膜料;将膜料气化沉积到所述光学镜片表面;烘烤60分钟;进行氟化镁层蒸镀;在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀,蒸镀的膜层厚度为4纳米;步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺;步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数,拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺,膜层具有良好的疏水性和自清洁性能,有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法,在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。 |
主权项 | 一种超宽带增透膜复合工艺方法,其特征在于,包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜两种工艺过程;其中真空蒸镀成膜工艺过程包括以下工作步骤:⑴.准备工作,清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料;⑵.抽真空,对所述真空室进行抽真空;⑶.在300摄氏度的烘烤温度下恒定60分钟;⑷.进行氟化镁层蒸镀,蒸镀的膜层厚度为83纳米;⑸.在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀,蒸镀的膜层厚度为4纳米;⑹.待光学镜片自然冷却后将进一步进行溶胶凝胶成膜工艺过程;其中,溶胶凝胶成膜工艺过程包括以下工作步骤:⑺.制取碱催化溶胶;⑻.真空蒸镀后的光学镜片的洁净处理;⑼.在提拉浸渍镀膜机上成膜;⑽.胶膜的干燥及后处理。 |
学科领域 | 天文技术与方法
|
专利号 | 暂无
|
语种 | 中文
|
专利状态 | 审中
|
文献类型 | 专利
|
条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1228
|
专题 | 专利
|
作者单位 | 南京天文光学技术研究所
|
推荐引用方式 GB/T 7714 |
王晋峰,王烨儒,田杰. 光学超宽带增透膜的复合制作方法. 暂无[P]. 2015-01-08.
|
文件名:
|
光学超宽带增透膜的复合制作方法.pdf
|
格式:
|
Adobe PDF
|
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论