| 光学超宽带增透膜的复合制作方法 |
| 王晋峰 ; 王烨儒; 田杰
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| 2015-01-08
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| 公开日期 | 2015-04-22
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| 授权国家 | 中国
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| 专利类型 | 发明
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| 其他摘要 | 超宽带增透膜复合工艺方法，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜；真空蒸镀成膜工艺：准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；抽真空；预热膜料；将膜料气化沉积到所述光学镜片表面；烘烤60分钟；进行氟化镁层蒸镀；在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；步骤⑴-⑹为真空蒸镀成膜工艺；步骤⑺-⑽为溶胶凝胶成膜工艺。本发明减少了宽带增透膜的膜层数，拓宽了现有宽带增透膜的带宽区域。通过镀膜后处理工艺，膜层具有良好的疏水性和自清洁性能，有很好的环境适应性。采用本发明的复合成膜方法，在300nm-1000nm波段范围平均透过率可达98.5%。 |
| 主权项 | 一种超宽带增透膜复合工艺方法，其特征在于，包括真空蒸镀成膜与溶胶凝胶成膜两种工艺过程；其中真空蒸镀成膜工艺过程包括以下工作步骤：⑴.准备工作，清洁真空室内所有相关器具并放入光学镜片和加入膜料；⑵.抽真空，对所述真空室进行抽真空；⑶.在300摄氏度的烘烤温度下恒定60分钟；⑷.进行氟化镁层蒸镀，蒸镀的膜层厚度为83纳米；⑸.在同样烘烤温度下进行氧化铝层的蒸镀，蒸镀的膜层厚度为4纳米；⑹.待光学镜片自然冷却后将进一步进行溶胶凝胶成膜工艺过程；其中，溶胶凝胶成膜工艺过程包括以下工作步骤：⑺.制取碱催化溶胶；⑻.真空蒸镀后的光学镜片的洁净处理；⑼.在提拉浸渍镀膜机上成膜；⑽.胶膜的干燥及后处理。 |
| 学科领域 | 天文技术与方法
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| 专利号 | 暂无
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| 语种 | 中文
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| 专利状态 | 审中
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| 文献类型 | 专利
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| 条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1228
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| 专题 | 专利
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| 作者单位 | 南京天文光学技术研究所
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
王晋峰,王烨儒,田杰. 光学超宽带增透膜的复合制作方法. 暂无[P]. 2015-01-08.
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文件名：
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光学超宽带增透膜的复合制作方法.pdf
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格式：
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Adobe PDF
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