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Design and Thermal Stability Analysis of Swing Micro-Mirror Structure for Gravitational Wave Observatory in Space 期刊论文
machines, 2021, 卷号: 9, 期号: 5, 页码: 104-127
作者:  Zheng KY(郑焜耀);  Xu MM(许明明)
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swing micro-mirror structure  finite element analysis  amplitude spectral density  point- ing jitter  first-order natural frequency