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大口径镜面细磨阶段面形的摆臂式相对检验方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2019
作者:  魏凯
收藏  |  浏览/下载：333/0  |  提交时间：2019/07/25
非球面检测  摆臂式轮廓仪  相对检验  标定  误差分析