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高精度镜面位置控制的微位移促动器研究 学位论文
, 北京: 中国科学院大学, 2023
作者:  帅雨林
收藏  |  浏览/下载：82/0  |  提交时间：2023/08/04
拼接镜面  微位移促动器  差动螺旋  UMAC