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非接触直接检测镜面高低差的高精度电容式位移传感器（发明） 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010120779.2, 申请日期: 2012-06-06, 公开日期: 2010-12-22
发明人:  张勇;  李烨平
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