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Experimental study on material removal rate of different material by ion beam polishing 会议论文
Advances in Optical and Mechanical Technologies for Telescopes and Instrumentation VI, Yokohama, Japan, 2024
作者:  Chen Z(陈哲);  Tian J(田杰);  Li XN(李新南);  Xu C(徐晨);  Li B(李博)
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ion beam polishing  material removal rate  multiple materials  orthogonal experiment