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离轴非球面镜中高频误差的检测方法研究 学位论文
, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  万金龙
收藏  |  浏览/下载:419/0  |  提交时间:2015/07/07
离轴非球面检测  中高频误差  Zernike多项式  子孔径拼接