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离轴非球面在光学细磨和粗抛阶段的波面再现技术研究 学位论文
: 中国科学院研究生院, 2010
作者:  武中华
收藏  |  浏览/下载：503/0  |  提交时间：2013/12/18
离轴非球面  付科检验  波面再现  定量分析  Zernike 多项式拟合