| 数字波面法检测非球面的技术研究 |
| 杨帆
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| 学位类型 | 硕士
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| 导师 | 袁吕军
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| 2012-05
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| 学位授予单位 | 中国科学院研究生院
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| 学位专业 | 天体物理
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| 关键词 | 光学检测
非球面
数字波面
波像差
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| 摘要 | 随着现代光学的发展和加工制造水平的提高，非球面光学元件在各种光学系统中得到越来越广泛的应用。相比于球面，非球面拥有更多的参数，能更加有效的校正像差，简化系统结构，提高光学系统性能，增加设计的自由度。非球面元件的面形精度直接影响着光学系统的性能，因此非球面检测技术在非球面加工过程中有着举足轻重的作用。在抛光阶段，光学车间中一般使用干涉法检测光学元件。对于非球面元件，一般需要专门设计和制作补偿器或借助其他辅助元件进行零位测量，补偿器或其他辅助元件的引入为装调和检测增加了难度。本文提出了一种快速检测凹面浅度非球面（非球面度小于0.01mm）反射镜的方法，该方法无需补偿器或其他辅助光学元件进行零位补偿。首先，用移相干涉仪直接测量非球面，剔除平移、倾斜、失焦等调整误差后，得到实际被测镜面的面形分布数据；然后，根据非球面矢高方程计算理想非球面的面形分布数据，得到理论波面数据，用实测的面形分布数据减去理论的面形分布数据即可得到被检非球面的剩余波像差，即面形误差。利用该方法测量了一块口径为135mm的双曲面，并用零位补偿法加以验证。两种方法的检测结果精度相当，说明数字波面法可实际应用于浅度非球面的检测。 |
| 学科领域 | 天文镜面（材料、加工、检测）
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| 文献类型 | 学位论文
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| 条目标识符 | http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/92
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| 专题 | 学位论文
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推荐引用方式
GB/T 7714 |
杨帆. 数字波面法检测非球面的技术研究[D]. 中国科学院研究生院,2012.
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