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一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法
类维政; 袁吕军; 苏志德; 康燕; 武中华
2020-07
发表期刊光学学报
卷号40期号:13页码:95-101
摘要
在光学镜面相位恢复检测中,由于CCD相机的横向失调和光路中倾斜误差的存在,采集图像会发生错位,影响检测结果的准确性。为了克服光路校准带来的困难,基于快速傅里叶变换图像配准算法以及梯度相位恢复算法,提出了亚像素图像配准相位恢复(SIRPR)算法。通过仿真,验证了该算法对于光路的横向偏移和镜面倾斜具有良好的矫正作用。对一块直径为110mm的凹面反射镜进行实验测量,并利用SIRPR算法处理含明显错位光斑的光强图,将计算获得的面形结果与干涉仪直接测量的结果进行对比,面形之差的方均根值为0.1047λ(λ 为波长),验证了算法的准确性。
关键词测量 相位恢复 相位测量 镜面检测 光学检测 光学制造
学科领域天文技术与方法
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.niaot.ac.cn/handle/114a32/1757
专题期刊论文
作者单位南京
推荐引用方式
GB/T 7714
类维政,袁吕军,苏志德,等. 一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法[J]. 光学学报,2020,40(13):95-101.
APA 类维政,袁吕军,苏志德,康燕,&武中华.(2020).一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法.光学学报,40(13),95-101.
MLA 类维政,et al."一种可矫正图像横向偏移的光学镜面相位恢复算法".光学学报 40.13(2020):95-101.
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